场发射扫描电镜测试

一、制样要求

     1、粉体样品，常规粉末直接均匀粘到导电胶上测试，如需分散后测试请提前说明；

     2、液体样品，制样老师根据样品要求及实验室条件，随机选择滴到硅片上分散后烘烤。

     3、薄膜或块体，请标明测试面，如需测试截面，请自行自备截面或提前说明截面制备方式。

二、样品要求

样品无形态要求

1. 粉末样品要求：样品量需要提供大概5 mg
2. 疏松多孔、非致密类样品等需要抽真空时间非常长。
3. 需要脆断的样品要求：尺寸需要≥3*3cm，厚度＜0.4cm。

三、其它要求；

1、导电性不好建议选择喷金，不喷金可能会影响拍摄效果；

问答：

1. 扫描能谱采集深度？

EDS采样深度大约1um。

2. 什么时候选择做二次电子和背散射？

二次电子对形貌敏感，反映的是样品的表面形貌，空间感强，而背散射电子衬度主要反映样品表面原子序数的差异，如果存在非均匀相，在BSE像上能有明显的相区，一般金属多相样品会选择做背散射。

3. 为什么要喷金？

如样品导电性不好，会造成样品表面多余电子或游离粒子的荷电，表现为一定程度后就反复出现充电放电现象，最终影响电子信号的传递，造成图像扭曲，变形、晃动等现象，喷金后样品表面导电增强，从而避免荷电现象。

案例展示 

             低倍背散射金相                                               高倍背散射金相                                             粉尘颗粒样品